荷兰光刻机巨头ASML表示，现在在美国的技术封锁下，中企想获取EUV光刻机几乎不可能了，但是中国一直没有放弃，研发投入每年增速超过20%。 这EUV光刻机其实就是造高端芯片的“超级刻刀”。咱们用的智能手机、新能源汽车，还有医院的CT机、天上的卫星，里面都得有芯片，越是高端的设备，越需要用EUV光刻机造出来的tiny芯片。 没有这机器，咱们就只能买别人的芯片，人家说涨价就涨价，说断供就断供，就像以前买外国的飞机发动机一样，得看别人脸色。美国就是看准了这一点，逼着ASML不能卖机器给中国，想把咱们的高端芯片产业卡死在摇篮里。 但中国真的退不起，一退就是万丈深渊。咱们是全球最大的芯片消费国，每年花在买芯片上的钱比买石油还多，要是一直依赖进口，哪天人家不给了，手机厂得停工，汽车生产线得停摆，就连医院的高端设备都可能没法用。 之前中兴公司就吃过这亏，美国一断供芯片，整个企业差点垮了，这就是活生生的教训。更关键的是，国防装备里的芯片也离不开这个，导弹、雷达、战斗机里的智能部件都得靠高端芯片驱动，要是被人卡了脖子，国家安全都受影响，这种风险谁也承担不起。 所以这研发投入不是乱花的，每一分钱都砸在了刀刃上。EUV光刻机是个精细活，光零件就有十万多个，得把这些零件凑齐还得让它们精准配合，比搭积木难一万倍。 咱们从三十年前就开始摸索，早期长春光机所先做出了原理装置，后来国家专门启动“02专项”，把全国的专家和企业凑到一起攻关。 现在钱越投越多，国家大基金三期一下就拿出几百亿，地方政府也跟着配套上千亿，就是要把短板补上。 这些投入已经见了真成效。就说光刻机的“心脏”光源，以前全靠进口，现在上海光机所做的光源效率比欧美还高，体积缩得跟衣柜一样小；哈工大还走出了另一条路，研发的光源效率比ASML还高两倍，直接绕开了他们的专利壁垒。 再看“手脚”双工件台，这东西得把硅片移动的精度控制在0.12纳米，比头发丝直径的五万分之一还细，华卓精科已经能造了，还是全球唯二能造的企业，良率能到92%，今年就能造200台。 光学系统这块，长春光机所做的反射膜，反光效果快赶上ASML了，能支撑13纳米的芯片制造，这些都是真金白银砸出来的突破。 更重要的是，不光是整机，连上下游的产业链都慢慢建起来了。上游的福晶科技能造关键晶体，市占率超过60%；成都光明能做出99.9999%纯度的光电材料，这些以前都是被国外垄断的。 中游的上海微电子已经能造28纳米的光刻机，国产化率快到95%了；下游的中芯国际14纳米芯片早就量产了，正在冲击5纳米，还能帮着测试国产光刻机的性能。 2018年的时候，核心部件国产化率还不到15%，现在已经涨到42%，再过两年想冲到50%，虽然离完全自主还有距离，但步子一直没停。 美国的封锁其实也有漏洞，他们以为盟友能一条心，可那些企业舍不得中国市场。就像英特尔，一边说要遵守美国规定，一边又说不能放弃中国，毕竟这么大的市场谁也丢不起，这就让封锁的口子没那么紧。 而且技术路线不止一条，美国想锁死现有的技术，咱们就另辟蹊径，清华大学在雄安建的新光源，瞄准的就是更先进的6纳米技术，等咱们的技术成熟了，他们的封锁就没用了。 想想以前的高铁、北斗导航，不都是被封锁着搞出来的？一开始国外也说咱们造不出高铁，结果现在咱们的高铁全世界跑；北斗以前也依赖国外的导航系统，现在咱们自己的系统比他们还精准。 光刻机也是一个道理，现在投入大、难度高，但每突破一个零件，就少受一分制肘。现在每年20%的增速不是盲目投入，是知道这条路必须走，走通了就能把芯片产业的“饭碗”端在自己手里，不用再看别人脸色。 所以不是中国愿意花这个钱，是实在没有退路，后退一步就是被卡脖子的绝境，只能往前冲。现在已经在光源、工件台这些关键地方撕开了口子，产业链也慢慢完善，再坚持下去，迟早能造出自己的EUV光刻机，到时候美国的封锁也就成了摆设。

                                        
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